진공응용장비
VACUUM TUBE FURNACE EQUIPMENT

VS-14Z

본 시스템은 고성능 진공 챔버와 확산 펌프를 결합하여 설계된 고진공 배기 시스템입니다. 반도체, 연구 개발, 박막 증착 등 고진공(UHV) 환경이 요구되는 정밀 공정에 최적화되어 있습니다.

주요 용도 및 특징

반도체 공정: 진공 코팅, 식각, 박막 증착 (PVD, CVD)
연구 개발: 재료 과학, 표면 분석, 초고진공 실험
산업 응용: 진공 열처리, 건조, 분석 장비
시스템 확장성: 모듈형 설계 덕분에 다양한 크기의 챔버와 손쉽게 조합하여 사용할 수 있습니다. 사용자의 특정 요구사항에 맞춰 부속품을 추가하거나 변경하여 맞춤형 시스템 구성이 가능합니다.
오일로터리 펌프와 챔버 그리고 대용량 확산펌프 조합은 최대 7.5×10−7 torr 수준의 초고진공을 안정적으로 달성합니다. 이는 챔버 내 잔류 가스 분자의 수를 극적으로 줄여 고품질의 공정 결과를 보장합니다..
청정 진공: LN2 trap 및 water baffle 장착으로 오일로 인한 챔버 내부 오염 가능성을 차단합니다. 이로써 깨끗한 진공 환경을 유지하며, 미세 공정의 수율을 높이는 데 기여합니다

처음 접하는 사람도 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스

쉽게 편리한 레시피 적용 화면

연구 및 생산 공정을 정확히 저장하는 데이터 베이스

보다 직관적이고 편리한 PLC I/O화면

1.시스템 구성

  • 메인 펌프 (Main Pump): DPF-14Z 확산 펌프
    역할: 최종적으로 고진공 영역을 만드는 역할을 합니다.
  • 부스터 펌프 (Booster Pump): VB2400 루츠 펌프
    역할: 확산 펌프의 펌핑 속도를 보조하여 고진공 영역으로의 빠른 도달을 돕습니다.
  • 보조 펌프 (Backing Pump): VPS-3500 로터리 베인 펌프
    역할: 확산 펌프와 루츠 펌프가 작동할 수 있도록 초기 진공 상태(Fore Vacuum)를 형성하고, 확산 펌프의 배기 압력을 유지합니다.

2. 펌프별 기술 사양

  • 1) DPF-14Z 확산 펌프
    펌핑 속도: 2350 ℓ/sec (배플 장착 시)
    최대 도달 진공도: 1×10−7 Torr
    최대 허용 포압: 1.1×10−1 Torr
    히터 파워: 4500 W
    냉각 방식: 수냉식 (7 ℓ/min)
  • 2) VB2400 루츠 펌프
    펌핑 속도: 2000 m³/h
    모터 파워: 7.5 kW
    특징: 내식성
  • 3) VPS-3500 로터리 베인 펌프
    펌핑 속도: 275 m³/h
    모터 파워: 7.5 kW
    특징: 오일 강제 윤활 방식, 금속 배기 밸브