진공응용장비
VACUUM TUBE FURNACE EQUIPMENT

TU-500

본 장비는 외부 가열 방식을 채택하여 챔버 내부를 오염시키지 않고 고온 열처리가 가능한 진공로입니다. 특히, 3D프린터 열처리 공정에 최적화되어 있으며, 고진공 환경에서 초고순도 열처리를 수행할 수 있습니다. 수소 가스 사용에 특화된 안전 시스템을 통해 공정의 안정성을 극대화합니다..

주요 용도 및 특징

분말 열처리

금속, 합금, 세라믹 분말의 3D 프린터소결, 어닐링, 표면 처리 등.

고순도 열처리

반도체, 광학 소재 등 초고순도를 요구하는 재료의 열처리.

티타늄 분말 환원

티타늄 분말의 표면 산화막을 제거하여 순도를 높이고 물성을 개선합니다.

수소 분위기 열처리

수소 가스를 이용한 재료의 특성 연구 및 공정 개발.

처음 접하는 사람도 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스

쉽게 편리한 레시피 적용 화면

연구 및 생산 공정을 정확히 저장하는 데이터 베이스

보다 직관적이고 편리한 PLC화면

진공 및 분위기 제어 (Vacuum & Atmosphere Control)

  • 진공도 (Ultimate Vacuum): 5×10−6 Torr (무부하, 베이킹, 퍼지 조건)
    고진공 환경을 통해 산소 등 불순물을 최소화하여 소재의 순도를 높입니다.
  • 사용 가스: 고진공 (High Vacuum)
    수소 (H2​): 티타늄 분말의 산화막 환원 등 활성 가스 공정에 활용

가열 시스템 (Heating System)

  • 가열 방식: 외부 가열식
    챔버 외부에 히터가 위치하여 챔버 내부의 청정도를 유지합니다.
  • 최고 가열 온도: 1000℃
Heating Zone Furnace size
warkingZone : ∅500 x 550L(mm)
히터존 수량 및 범위 : 360도
제어용 T/C : 1ea
모니터링 T/C : 1 point
Heating Element 재질 : Khantal Wire Heater
Heating Element Type : 노출형 Khantal Wire
Furnace 양끝단 Safety Cover : 화상 Safety
Insulator:Ceramic Board & Fiber
Process temp Max.processtemp.: < 1000℃
NormalprocessTemp.: < 900℃
온도 정확도 : ±1℃
온도 균일도 : ±20℃

안전 및 유틸리티 (Safety & Utilities)

  • 수소 안전 시스템 (H2​ Safety System)
  • 용도: 수소 환원 장치
  • Burn Out System:
    배출되는 수소 가스를 안전하게 연소시켜 폭발 위험을 원천적으로 차단합니다.
    공정 중 발생하는 가스를 안전하게 처리하며, 특히 유독성/가연성 가스 사용 시 필수적인 기능입니다.

유틸리티 및 안전 시스템 (Utilities & Safety)

  • 분위기 제어 유닛 (Atmosphere Control Unit)
  • 유량 제어 (Flow Control): MFC (Mass Flow Controller)
    MFC 및 믹스 탱크 (Mix Tank) 장착으로 정밀한 가스 유량 및 혼합비 제어.
  • 진공 배기 시스템 (Evacuation System)
  • 로터리 펌프 (Rotary Pump): 2,000L/min 1대
  • 확산 펌프 (Diffusion pump): 800L/sec 1대

제어 시스템 (System Control)

  • 제어 방식: PLC (Programmable Logic Controller) 제어 및 터치패널 인터페이스
    모든 공정 조건 (온도, 압력, 시간, 분위기)을 PLC를 통해 자동화된 시퀀스로 제어.
  • 운영 인터페이스 (HMI):
    터치패널: 실시간 상태 모니터링 및 제어, 공정 레시피 저장 및 호출 기능.
    PC 제어: 장거리 모니터링 및 데이터 로깅 기능 (옵션).
    데이터 로깅: 온도-시간, 압력-시간 데이터를 실시간으로 기록하여 공정 분석 및 최적화에 활용.