주요 용도 및 특징
Model | SMGS-150 | |
---|---|---|
Work Zone mm (W*H*D) | Gr 150x150x200 | MO 150x150x200 |
Max. temperature | 1,700℃ | 1,300℃ |
Working temperature | 1,600℃ | 1,200℃ |
SW VACUUM VACUUM FURNACE FEATURES

SMGS-150 상세 사양
SMGS-150은 두 개의 챔버(금속로, 그라파이트로)로 구성된 소형 고진공 열처리 장비입니다. 각 챔버의 상세 사양은 다음과 같습니다.
1. 퍼니스 및 챔버 상세 사양
- 워크 존 크기: 두 챔버 모두 동일하게 150 x 150 x 200 mm (W x D x H) 입니다.
- 챔버 구조: 냉각수가 공급되는 이중 구조로 설계되어 있어, 열처리 공정 중에도 안정적으로 온도를 관리할 수 있습니다
2. 온도 성능
- 작업 온도: 금속로 1,200℃ (Normal), **1,300℃ (Max.)**.
그라파이트로 1,600℃ (Normal), **1,350℃ (Max.)**.
- 온도 정확도: **± 1℃**의 정밀한 온도를 유지합니다.
- 온도 균일도: 1,200℃ 조건에서 내부 지그 사용 시, 워크 존 내 **5℃ ~ 10℃**의 균일한 온도를 보입니다.
- 승온 속도: 일반적인 경우 10℃/min, 공챔버 기준으로는 최대 20℃/min까지 가열 속도를 높일 수 있습니다.
그라파이트로 1,600℃ (Normal), **1,350℃ (Max.)**.
3. 제어 시스템
- 온도 측정: R-type, C-type 열전대를 사용하여 온도를 정밀하게 측정합니다.
- 온도 제어: 각1존(Zone) PID 제어 시스템을 적용하여 안정적이고 정밀한 온도 제어가 가능합니다.
4. 분위기 제어
- 분위기: 고진공 (High Vacuum), 질소 (Nitrogen) 또는 아르곤 (Ar),H2
- 제어 방식: 유량계 제어 (Flow Meter Control)
MFC (Mass Flow Controller) 및 믹스 탱크(Mix tank) 장착
MFC (Mass Flow Controller) 및 믹스 탱크(Mix tank) 장착
5. 배기 및 진공 시스템
- 진공 펌프:
Oil Rotary Pump): 200 L/sec 1대
- 최종 도달 진공도: 10⁻3 Torr (무부하, 베이킹 및 퍼지 조건)
Oil Rotary Pump): 200 L/sec 1대