진공열처리로
Vacuumm Furnace

SM-250

SM250은 고진공 환경에서 열처리 공정을 진행하는 소형 장비입니다. 대기 불순물 유입을 차단하여 접합부의 산화를 막고, 고온에서도 안정적인 성능을 보장합니다. 특히, 좁은 공간의 연구실 환경에 특화되어 효율적으로 사용할 수 있습니다.

주요 용도 및 특징

Model SM-150 SM-250 SM-350
Work Zone mm (W*H*D) 150x150x150 250x250x300 350x350x400
Power supply 380V/10KW 380V/20KW 380V/30KW
Max. temperature 1,350℃/1,800℃-H 1,350℃/1,800℃-H 1,350℃/1,600℃-H
Working temperature  1,300℃/1,700℃-H 1,200℃/1,700℃-H 1,300℃/1,500℃-H
We build custom products to your exact temperature and size.

다양한 소성 환경 지원

1,600℃의 초고온 환경은 물론, 진공, Ar/N2 또는 기타 분위기에서 사용 가능하여 다양한 소재의 특성에 맞는 맞춤형 공정을 제공합니다.

전기·전자 소재 및 부품 열처리

반도체 및 방열 소재 등에 필요한 열처리 공정을 수행하며 빠른 열처리 속도를 지원합니다.

처음 접하는 사람도 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스

쉽게 편리한 레시피 적용 화면

연구 및 생산 공정을 정확히 저장하는 데이터 베이스

보다 직관적이고 편리한 PLC I/O화면

SW VACUUM VACUUM FURNACE FEATURES

산화 방지 및 표면 품질 향상

진공 환경에서는 산소가 없기 때문에 금속을 고온으로 가열해도 산화막이 형성되지 않습니다. 따라서 소재의 표면이 깨끗하게 유지되고, 추가적인 표면 처리 공정이 필요 없거나 최소화됩니다.

균일한 품질 및 성능 보장

진공로 내의 온도를 정밀하게 제어할 수 있어, 소재 전체에 균일한 열처리가 가능합니다. 이는 제품의 강도, 경도 등 기계적 특성이 일관되게 유지되도록 합니다.

환경 친화적 및 안전성

진공로 내부에 불활성 가스를 사용함으로 유해 가스 배출이 거의 없습니다. 또한, 폭발성 가스나 인화성 물질을 사용하지 않아 작업 환경이 안전합니다.

고객의 필요에 맞춘 히터 설계 및 제작
Designing and manufacturing heaters tailored to customer needs

1. 퍼니스 및 챔버 상세 사양

  • 퍼니스 실드: 몰리브덴 (Molybdenum Shield)
  • 워크 존 크기: 100 x 100 x 150 mm (W x D x H)
  • 챔버 구조: 냉각수가 공급되는 이중 구조로 설계되어 안정적인 온도 관리가 가능합니다.

2. 온도 성능

  • 작업 온도 (Normal): 1,300℃
  • 최대 온도 (Max.): 1,350℃
  • 온도 정확도: ± 1℃
  • 온도 균일도: 워크 존 내 5℃ ~ 10℃ (1,200℃, 내부 지그 사용 시)
  • 승온 속도 (Normal): 10℃/min
  • 최대 승온 속도 (Under): 20℃/min (공챔버 기준)

3. 제어 시스템

  • 온도 측정: R-type 열전대 (Thermocouple)
  • 온도 제어 방식: 1존(Zone) PID 제어 시스템을 적용하여 정밀한 온도 제어가 가능합니다.
Heater Type Normal Temp. Max. Temp.
Molybdenum 1,300℃ 1,350℃
Tungsten 1,700℃ 1,800℃

4. 분위기 제어

  • 분위기: 고진공 (High Vacuum), 질소 (Nitrogen) 또는 아르곤 (Ar),수소(H2)
  • 제어 방식: 유량계 제어 (Flow Meter Control)
  • MFC (Mass Flow Controller) 및 믹스 탱크(Mix tank) 장착

5. 배기 및 진공 시스템

  • 진공 펌프: Oil Rotary Pump): 200 L/sec 1대
  • 최종 도달 진공도: 10⁻3 Torr (무부하, 베이킹 및 퍼지 조건)