주요 용도 및 특징
Model | SBS-100 | SBS-200 | SBS-400 | SBS-600 | SBS-800 |
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Work Zone mm (W*H*D) | 100x100x150 | 200x200x300 | 400x400x600 | 600x600x800 | 800x800x1000 |
Power supply | 380V/10KW | 380V/20KW | 380V/30KW | 380V/40KW | 380V/80KW |
Max. temperature | 1,350°C | 1,300°C | 1,300°C | 1,300°C | 1,200°C |
Working temperature | 1,300°C | 1,250°C | 1,250°C | 1,250°C | 1,100°C |
SW VACUUM 진공 브레이징로의 특징

1. 퍼니스 (Furnace) 및 가열 영역
- 퍼니스 타입: 핫 존 몰리브덴 수평형 (Hot Zone Moly Horizontal type)
- 퍼니스 실드: 몰리브덴 실드 (Molybdenum Shield)
- 퍼니스 챔버: 챔버에 냉각수가 공급되는 이중 구조
재질: STS304 (스테인리스 스틸 304)
- 워크 존 크기 (W x D x H): 600 x 600 x 1000 mm
재질: STS304 (스테인리스 스틸 304)
2. 온도 사양
- 작업 온도
정상 (Normal): 1,250℃
최대 (Max.): 1,300℃
- 온도 정확도: ± 1℃
- 온도 균일도: 워크 존 내부에서 5℃ ~ 10℃ (1,200℃, 내부 지그 사용 시)
- 승온 속도
정상 (Normal): 10℃/min
최대 (Under): 20℃/min (공챔버 기준)
정상 (Normal): 1,250℃
최대 (Max.): 1,300℃
정상 (Normal): 10℃/min
최대 (Under): 20℃/min (공챔버 기준)
3. 가열 시스템
- 히팅 엘리먼트: 원형 방식 (총 9면 방식)
- 온도 측정: R-type 열전대 (Thermocouple)
- 온도 제어 :3존(Zone) PID 제어 (사이리스터 방식)
전면(Front), 중앙(Center), 후면(Back) 각 1개 존 제어
전면(Front), 중앙(Center), 후면(Back) 각 1개 존 제어
4. 분위기 제어
- 분위기: 고진공 (High Vacuum), 질소 (Nitrogen) 또는 아르곤 (Ar)
- 제어 방식: 유량계 제어 (Flow Meter Control)
MFC (Mass Flow Controller) 및 믹스 탱크(Mix tank) 장착
MFC (Mass Flow Controller) 및 믹스 탱크(Mix tank) 장착
5. 배기 및 진공 시스템
- 진공 펌프:
Oil Rotary Pump): 2,000 L/sec 1대
M.B.P (Mechanical Booster Pump): 600 m³/hr
R/P (Rotary Pump): 1,000 L/min 1대 (백업용 R/P 1대 장착)
- 최종 도달 진공도: 10⁻3 Torr (무부하, 베이킹 및 퍼지 조건)
Oil Rotary Pump): 2,000 L/sec 1대
M.B.P (Mechanical Booster Pump): 600 m³/hr
R/P (Rotary Pump): 1,000 L/min 1대 (백업용 R/P 1대 장착)
Cooling System (냉각 시스템)
급속 냉각 기능
- 냉각 성능: 1~2시간 이내에 대상체 온도가 60℃ 이내로 냉각 가능 (공 챔버 기준)
- 냉각 방식: 질소 가스 순환 방식
제어 시스템 (Control System)
구성 품목
- System Control:
PID 제어 방식 채택
Recipe Control 기능 포함 (레시피를 통한 공정 제어)
Full-auto / Manual 작동 기능 제공
Full Auto Run 가능 (Pumping, Heating, Cooling, Shutdown 등 전 공정 자동 작동)
- System Control Touch Panel: 14인치 이상 Full HD 터치 패널
- Record (기록 및 데이터 관리)
PID 제어 방식 채택
Recipe Control 기능 포함 (레시피를 통한 공정 제어)
Full-auto / Manual 작동 기능 제공
Full Auto Run 가능 (Pumping, Heating, Cooling, Shutdown 등 전 공정 자동 작동)