주요 용도 및 특징

작업 환경 (Process Chamber)
- 작업 공간 (Working Zone): 300(W) x 300(D) x 300(H) mm
- 분위기 (Atmosphere)
고진공 (High Vacuum): 초고순도 열처리 및 불순물 제거
불활성 가스 (Inert Gas): 아르곤(Ar),질소(N2)
- 진공도 (Ultimate Vacuum): 5×10−6 Torr (무부하, 베이킹, 퍼지 조건)
고진공 (High Vacuum): 초고순도 열처리 및 불순물 제거
불활성 가스 (Inert Gas): 아르곤(Ar),질소(N2)
가열 및 온도 제어 (Heating & Temperature Control)
- 최고 가열 온도 (Max. Heating Temp.): 2000℃
- 승온 속도 (Heating Up Rate):
정상 (Normal): 20℃/min
최대 (Max.): 30℃/min
- 온도 측정 (Temperature Measurement):
C-type Thermocouple:
온도 제어 정밀도 (Control Accuracy): ±1℃
- 히터 방식 (Heater Type): 흑연(Graphite) 저항 발열체
균일한 가열을 위해 챔버 내부에 다중 히터 배치.
정상 (Normal): 20℃/min
최대 (Max.): 30℃/min
C-type Thermocouple:
온도 제어 정밀도 (Control Accuracy): ±1℃
균일한 가열을 위해 챔버 내부에 다중 히터 배치.
유압 시스템 (Hydraulic System)
- 출력 압력 (Output Force): 10 ton
- 정밀 제어: 1Kg 단위 정밀 압력 제어 기능.
- 스트로크 (Stroke): 100 mm
- 펀치 사이즈 (Punch Size): Max. Ø50 mm
- 압력 제어 방식:
하중(Load) 제어 모드: 설정 압력값 유지
위치(Position) 제어 모드: 설정 스트로크 값 유지
이러한 복합 제어 기능을 통해 재료의 성형에 유리합니다.
하중(Load) 제어 모드: 설정 압력값 유지
위치(Position) 제어 모드: 설정 스트로크 값 유지
이러한 복합 제어 기능을 통해 재료의 성형에 유리합니다.
유틸리티 및 안전 시스템 (Utilities & Safety)
- 분위기 제어 유닛 (Atmosphere Control Unit)
- 유량 제어 (Flow Control): MFC (Mass Flow Controller)
MFC 및 믹스 탱크 (Mix Tank) 장착으로 정밀한 가스 유량 및 혼합비 제어.
MFC 및 믹스 탱크 (Mix Tank) 장착으로 정밀한 가스 유량 및 혼합비 제어.
진공 배기 시스템 (Evacuation System)
- 로터리 펌프 (Rotary Pump): 2,000L/min 1대
- 확산 펌프 (Diffusion pump): 800L/sec 1대
제어 시스템 (System Control)
- 제어 방식: PLC (Programmable Logic Controller) 제어 및 터치패널 인터페이스
모든 공정 조건 (온도, 압력, 시간, 분위기)을 PLC를 통해 자동화된 시퀀스로 제어.
- 운영 인터페이스 (HMI):
터치패널: 실시간 상태 모니터링 및 제어, 공정 레시피 저장 및 호출 기능.
PC 제어: 장거리 모니터링 및 데이터 로깅 기능 (옵션).
- 데이터 로깅: 온도-시간, 압력-시간 데이터를 실시간으로 기록하여 공정 분석 및 최적화에 활용.
모든 공정 조건 (온도, 압력, 시간, 분위기)을 PLC를 통해 자동화된 시퀀스로 제어.
터치패널: 실시간 상태 모니터링 및 제어, 공정 레시피 저장 및 호출 기능.
PC 제어: 장거리 모니터링 및 데이터 로깅 기능 (옵션).