MIM진공 소결로
(MIM High Temperature Vacuum Furnace)

GS500-HS

GS500-HS 초고온 진공 소성로는 최첨단 기술이 집약된 장비로, 세라믹 나노 분말의 고온 소결 공정을 통해 불순물 및 유기 성분을 효과적으로 제거하고, 치밀도 향상을 통한 결정성 개선을 목표로 합니다. 특히 반도체, 방열 소재 등 전기·전자 소재 및 부품에 필수적인 열처리 공정에 최적화되어 있으며, 나노입자 형성 및 표면 처리가 가능합니다.

주요 용도 및 특징

세라믹 나노 분말의 고온 소결

불순물 및 유기 성분 제거, 치밀도에 따른 결정성 향상을 통해 고품질의 세라믹 소재를 구현합니다.

전기·전자 소재 및 부품 열처리

반도체 및 방열 소재 등에 필요한 소결/소성 공정을 수행하여 나노입자 형성 및 표면 처리를 지원합니다.

다양한 소성 환경 지원

2,300℃의 초고온 환경은 물론, 상압, 진공, H/N2 또는 기타 분위기 소성 가공이 가능하여 다양한 소재의 특성에 맞는 맞춤형 공정을 제공합니다.

HTCC (고온 동시 소성 세라믹) 기판 제조

고온을 요구하는 HTCC 그린 시트의 소결 공정에 최적화되어 있습니다. 융점이 높은 W(텅스텐) 또는 Mo(몰리브덴)계 금속 페이스트를 사용하여 금속 회로를 형성하며, 세라믹 조성물과 동등한 수준의 높은 강도를 구현합니다.

급속 냉각 시스템

소결 완료 후 급속 냉각 기능을 통해 생산성을 향상시키고, 소재의 특성에 맞는 냉각 속도 제어를 통해 최적의 조직 및 물성을 확보할 수 있습니다.

Full-Auto 운전 및 레시피 관리

레시피 기능을 통해 온도, 시간, 분위기, 압력 등의 소결 조건을 정밀하게 설정하고 자동 운전을 지원하여 작업 편의성을 높이고 일관된 품질을 보장합니다.

처음 접하는 사람도 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스

쉽게 편리한 레시피 적용 화면

연구 및 생산 공정을 정확히 저장하는 데이터 베이스

보다 직관적이고 편리한 PLC I/O화면

장비 개요 및 주요 구성

장비유형

고온 진공 저항 가열식 전기로

주요 기능

다양한 소성 환경 지원
소재의 특성에 맞는 맞춤형 공정을 제공

설계 목표

고성능, 장기 내구성 (변형/쇼트 최소화)

주요 모듈

Vacuum Chamber, Heating System, Vacuum System, Control System, Utilities

가열 영역 (Heating Zone)

• Furnace Size (내부 규격): W600 x H600 x L800 mm
• Working Zone (사용 규격): W500 x H500 x L700 mm
• 히터존 수량 및 범위: 좌, 우 2 Zone
• 제어용 T/C (Thermocouple): 2 ea
• 모니터링 T/C (Thermocouple): 2 point
• Heating Element 재질: Graphite (흑연)
• Heating Element Type: Tube형 (튜브형)
• Furnace 양끝단 Safety Cover: 화상 Safety (화상 방지 안전 커버)
• Insulator (단열재): STS316L & B/N (Boron Nitride)
• Electrode (전극): Copper (구리)

Process Temperature (공정 온도)

• Max. Process Temp. (최대 공정 온도) : 2,300℃ 이하
• Normal Process Temp. (정상 공정 온도) : 2,200℃ 이하
• 온도 정확도 : ±1℃
• 온도 균일도 : ±5℃

Furnace 작동

• 작동 방식: 전면 구동 방식
• 안전 장치: 안전변, 가스 스프링 장치

급속 냉각 기능

• 냉각 성능 : 1~2시간 이내에 대상체 온도가 60℃ 이내로 냉각 가능 (공 챔버 기준)
• 냉각 방식 : 질소 가스 순환 방식

System Control

• PID 제어 방식 채택
• Recipe Control 기능 포함 (레시피를 통한 공정 제어)
• Full-auto / Manual 작동 기능 제공

Record (기록 및 데이터 관리)

• 데이터 저장: 공정 데이터 저장
• 실시간 모니터링: 하나의 화면에 동기화되어 직관적인 데이터 표현
• Recipe (레시피) 기능,데이터 확인

저항식 그라파이트 히터의 다면적 성능

Vacuum System (진공 시스템)

  • 진공 펌프: Oil Rotary Pump
  • 진공 게이지: pirani, Cold cathode
  • 챔버 구성: ATM 센서, 릴리프 밸브,
    슬로우/패스트 러핑 시스템
  • 펌핑 구조: 승온/냉각 시 챔버 보호 설계
  • 가스 공급: N2, Ar, H2 가스 주입
    H2 가스 안전 시스템
    (번아웃 및 감지기)
  • 진공 성능: 대상물 없이 50분 이내 5 x 10-6 Torr
    이하 도달(고진공 장착시)
  • 누설률 (He Leak Test): 5 x 10-9 mbar·l/s 이하