진공열처리로
HUGE HEAT TREATMENT EQUIPMENT

GS1000-H

최첨단 기술의 집약체, 초고온 진공 열처리로 당사의 초고온 진공 열처리로는 혁신적인 기술력과 정밀함이 결합된 최첨단 장비입니다. 2,100℃에 이르는 극한의 온도를 정밀하게 제어하여, 항공우주, 반도체, 신소재 등 고도의 기술력을 요구하는 산업 분야에 최적의 솔루션을 제공합니다.

주요 용도 및 특징

Model GS-1000H GS-1200V
Work Zone mm (W*H*D) 1000x1000x1000 ⌀1200×1,500
Power supply 380V/250KW 380V/300KW
Max. temperature 2,100℃-H 2,200℃-H
Working temperature 1,900℃ 2,000℃

다양한 소성 환경 지원

2,000℃의 초고온 환경은 물론, 진공, Ar/N2 또는 기타 분위기에서 사용 가능하여 다양한 소재의 특성에 맞는 맞춤형 공정을 제공합니다.

전기·전자 소재 및 부품 열처리

반도체 및 방열 소재 등에 필요한 열처리 공정을 수행하며 빠른 열처리 속도를 지원합니다.

고품질 가열 영역

W1000 x H1000 x L1000mm의 넓은 작업 공간과 흑연(Graphite) 재질의 튜브형 히팅 엘리먼트로 고온에서도 균일하고 안정적인 열처리 환경을 구현합니다.

Full-Auto 운전 및 레시피 관리

레시피 기능을 통해 온도, 시간, 분위기, 압력 등의 소결 조건을 정밀하게 설정하고 자동 운전을 지원하여 작업 편의성을 높이고 일관된 품질을 보장합니다.

처음 접하는 사람도 쉽게 사용할 수 있는 인터페이스

쉽게 편리한 레시피 적용 화면

연구 및 생산 공정을 정확히 저장하는 데이터 베이스

보다 직관적이고 편리한 셋팅화면

장비 개요 및 주요 구성

장비유형

고온 진공 저항 가열식 전기로

주요 기능

고온 진공 다양한 분위기(Ar, N2, H2) 열처리

설계 목표

고성능, 장기 내구성 (변형/쇼트 최소화)

주요 모듈

Vacuum Chamber, Heating System, Vacuum System, Control System, Utilities

1. 공정 온도 (Process Temperature)

  • 최대 공정 온도 (Max. Process Temp.): 2,100℃ 이하
  • 정상 공정 온도 (Normal Process Temp.): 2,000℃ 이하
  • 온도 정확도 (Temperature Accuracy): ±1℃
  • 온도 균일도 (Temperature Uniformity): ±5~10℃
  • 사양서

2. 가열 영역 (Heating Zone)

  • Working Zone (사용 규격): W1000 x H1000 x L1000 mm
  • 히터존 수량 및 범위: 4 Zone
  • 제어용 T/C (Thermocouple): 4 ea
  • 모니터링 T/C (Thermocouple): 2 point
  • Heating Element 재질: Graphite (흑연)
  • Heating Element Type: Tube형 (튜브형)

3. 온도 (Temperature)

  • 열전대 (Thermocouple)
    C-Type: 최대 1,800℃까지 측정 가능하며, 주로 고온 영역에서 사용됩니다.
    Pyrometer: 최대 2,400℃까지 측정 가능한 비접촉식 온도계로, 열전대가 견디기 힘든 초고온 영역에서 사용됩니다.
  • 공정/최고 온도: 장비가 실제로 목표로 하는 공정 온도는 1,900℃이며, 장비가 안전하게 도달할 수 있는 최고 온도는 2,100℃입니다.
  • 제어: 원형 히터를 사용하여 가열 영역 전체를 **4개의 존(Zone)**으로 통합 제어합니다.
  • 제어 정확도: 목표 온도에서 ±2℃ 이내의 오차로 정밀하게 온도를 제어할 수 있습니다.
  • 온도 균일도:
    사양: 공정 온도인 1,900℃에서 **±5℃~10 ℃ **의 균일도를 보증합니다. 이는 작업물 전체에 걸쳐 온도가 일정하게 유지됨을 의미합니다.
    측정: 제조사가 제안하는 특정 지점에서 온도를 측정하며, 검수 시에는 신뢰도가 높은 구간의 균일도를 측정하여 검증합니다.
    측정 지점: 히터의 전면, 중면, 후면 세 곳에서 온도를 측정하여 균일도를 확인합니다.

승온 속도 (Ramp Rate) – 진공 상태

10℃/min (상온 ~ 1,000℃): 낮은 온도 구간에서는 비교적 빠르게 온도를 올립니다.
5℃/min (1,000℃ ~ 2,100℃): 높은 온도 구간에서는 열팽창 및 공정 안정성을 위해 승온 속도를 낮춥니다.

전극 (Electrode)

  • 구조: 수냉식으로, 고온에서 전극이 과열되는 것을 방지합니다.
  • 소재: 열전도율이 우수한 **수냉 구리(Copper)**와 내열성이 뛰어난 **세라믹 절연재(Boron Nitride)**를 사용해 안전성과 효율을 높입니다.
  • 가스 공급: N2, Ar, 가스 주입
  • 진공 성능: 대상물 없이 30분 이내 5 x 10-3 Torr 이하 도달
  • 누설률 (He Leak Test): 5 x 10-9 mbar·l/s 이하